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半導體建構本土鏈得跨專利壁壘 - 聯合報

2022年4月4日 — 業界分析，氖氣在半導體製程具重要地位，因為當晶片製造商透過微影 ... 刻在晶片上，仰賴的技術是準分子雷射之中的氟化氬雷射（ArF laser），這種雷射 ...

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