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準分子激光Excimer Laser: 最新的百科全書

自1960 年代以來，準分子激光器最廣泛的工業應用是深紫外光刻，這是微電子設備製造中使用的一項關鍵技術。從歷史上看，從20 世紀60 年代初期到20 世紀80 年代中期，汞-氙燈 ...

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