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利用飛秒雷射微奈米加工技術於玻片上製作高深寬比之微流道結構

財團法人工業技術研究院南分院雷射應用科技中心） ... 關鍵詞：飛秒雷射，雷射加工光斑，熱影響區，微流道，高深寬比. 一、 原理概述：. 由於飛秒雷射脈衝寬度極短， ...

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