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飛秒與奈秒雷射於微奈米加工之研究

本論文著重脈衝雷射加工技術於提高加工精度、提高加工速率、以及感測器的製作等三 ... 在飛秒雷射加工上，整合聚焦整形技術於三維微透鏡陣列包含圓柱透鏡以及球面透鏡 ...

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