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國立交通大學機構典藏：次微米的雷射位移感測器之研究

本論文的研究目的在於根據三角測量法原理去設計一個20 kHz高速掃瞄且解析度達到次微米級的雷射位移感測器，描繪出一維的物體表面形貌，以運用在工業的產品缺陷檢測上。

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