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國立陽明交通大學機構典藏：光柵位移干涉術

本論文利用光柵干涉定位量測技術研製之平面繞射雷射編碼系統，此系統可直接量測二維位移，量測解析度達1奈米。 ... 且光學尺的零件組裝對位也成為使用者的瓶頸。

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