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干涉儀系統的運作方式？ - Renishaw

他利用鏡子和半透明鏡子（分光鏡）合併來自相同光源的不同光束。雷射干涉量測法是確立已久的距離量測方法，具有很高的精度。 基本原理. Michelson 干涉儀 ...

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