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電漿技術與應用專題 - 台灣儀器科技研究中心

我們可藉由外加能量以產生電漿，透過加熱或加電場使氣體內的電子獲得能量，電子隨之加速，電子加速後撞擊中性的原子或分子，中性粒子受電子的撞擊後，產生新的離子與新的 ...

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