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離子帶電
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https://www.sunda-optical.com.tw/products_detail/36.htm
半導體離子植入機配件- 產品介紹
在所有半導體元件中,離子植入(Ion Implant)是電晶體結構中一項相當重要的技術。在離子植入過程中,晶圓會受到被稱為摻質的帶電離子束撞擊,當摻質加速到獲得足夠的 ...
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