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離子佈植擴散法
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半導體製程技術
離子佈植 法因在雜質濃度、縱深分佈. 及純度控制方面遠較擴散法優越,在大型積體電路製作上已被廣泛應用。其方法是利用加速器. 將高能量雜質離子植入矽晶表面中。
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