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離子佈植擴散法
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建立動態拉曼量測分析技術以探討超低溫分子離子佈植於製程 ...
故本研究提出低溫離子佈植法,. 藉由降低佈植時的試片溫度,以降低離子束加熱的效應,避免發生動態退火(dynamic annealing)致使摻雜原子擴散至矽試片內部[1.4]。
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