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離子佈植介紹
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電漿摻雜活化之微波退火技術
高,且間距越做越小,傳統離子佈植及雷射活化已無法滿足需求。為避免離子佈植破壞矽晶格或因寬深 ... 此外,本文亦將首次介紹多片晶圓微波退火的優異成果。
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