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設備隔震 - Well-Link

半導體設備隔震，以摩擦擺系統為隔震支承，可於任意方向移動。防震設計目標，摩擦係數控制在3%以下，這須仰賴高精密的加工技術與適當的界面材料，所用的滑動介面材料 ...

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