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利用離子型界面活性劑探討旋塗性多孔超低介電薄膜中起孔洞劑 ...

標題: 利用離子型界面活性劑探討旋塗性多孔超低介電薄膜中起孔洞劑與孔洞尺寸及其分散行為之研究. A study on the porogen and pore size/distribution and ...

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