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TW202117900A - 陶瓷加熱器及其製造方法

該CVD裝置及PVD裝置中安裝的加熱器，根據準確的溫度控制、半導體元件的配線微細化及半導體晶片基板的精密熱處理要求，廣泛使用陶瓷加熱器(Ceramic Heater)。 圖1a是繪示習 ...

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