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氮化矽基板 - 凱寶智能自動化股份有限公司

此外氮化矽的熱膨脹係數為3.0X10^(-6)/左右，與si,sic,和GaAs等材料匹配良好，這使得氮化矽陶瓷將成為一種極具有吸引力的高強度高導熱電子器件基板材料。 與其他陶瓷材料相 ...

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