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半导体设备行业专题：零部件，空间广阔，国产化趋势下高成长

刻蚀设备主要厂商包括LAM、TEL、AMAT等海外龙头，国内头部企业包括中微公司(126.860, ... 开发并建立了内部粉末涂层能力，提升公司在传输系统实力。

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