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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - IR

中文摘要： 本研究使用立體光罩(3D-mask)與近接式曝光(proximity exposure)製作圓錐型微探針陣列(micro-probe array)模. 仁。根據熱熔法(thermal reflow)的限制，定義 ...

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