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利用吹氣測試與奈米壓痕試驗機量測微機電元件之薄膜機械特性 ...

中，薄膜與基材的附著力是決定其性能好. 壞的重要因素。 ... 面間之附著力相當的弱，然而金膜本生具 ... 公式(4)是假設在薄膜本身不受初始應. 力且為平坦無起伏之狀況 ...

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