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CN101067555B - 力平衡式谐振微机械陀螺

力 平衡式谐振微机械陀螺，包括静电梳齿驱动器、质量块、双端音叉谐振器和静电梳齿力平衡器。在静电梳齿驱动器上加驱动电压时，质量块作沿x轴方向的振荡运动， ...

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