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(100)矽材環式微陀螺儀之研製| NTU Scholars

此外，並採取三組新穎支撐架結構來支撐圓環，且在電極區上再多添加次要電極設計，藉此來提高環式陀螺儀之靈敏度。 主要是利用(100)矽晶片與7740玻璃來製作，先以7740 ...

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