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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

文中將介紹設計原理、機械結構、感測介面及感測電路等。 ... 開始採用MEMS 所製造的加速度計、微陀螺儀、 ... 陀螺儀或多軸感測器等其他需要整合之元件利用單.

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