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國家太空計畫室委託合作研究計畫結案報告

第2章以六軸微加速度計合成微陀螺儀之原理, ... 3.3 梳狀電容感測原理. ... 隨著MEMS 技術不斷地發展,應用此技術製造的微感測器陸續地在市面上銷.

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