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微機電製程MEMS陀螺儀實現消費性電子產品體感控制 - 科技 ...

要造就如此微小又兼具傳導、震動、移動等機械功能整合於一身的感測器，一般的機械加工方式均無法達成，唯有奈米電子MEMS可以實現微細加工的要求。MEMS即是在1塊晶片(矽和 ...

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