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氮化硅被动氧化模型实验校验方法以及氧化层厚度影响因素确定 ...

按照方程式(3)，Si 3N 4在1273～1873K空气中氧化时的Arrhenius关系为线性。根据方程式(3)，活化能Q值可以通过曲线lnkp～1/T的斜率来确定，k 0通过曲线lnkp～1/T的截距 ...

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