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CN2729035Y - 低阈值直交流可分的微电子机械开关
低阈值直交流可分的微电子机械开关及其制造方法是通过两个驱动电极的设计,实现一种低阈值电压直交流可分的MEMS开关的结构设计,该微电子机械开关以衬底(7)为基底, ...
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