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一種驗證先進三閘極電晶體幾何變異之理論與實驗方法

... 如短通道效應(short channel effect)、閘極漏電流(gate leakage)的產生等，使得發展出擁有更好之閘極控制能力的三閘極鰭式電晶體(trigate FinFET)，卻又衍生出其鰭 ...

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