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台積電2奈米進度超前- 工商時報 - 中時新聞網

... 除了是台積電第一個奈米層片(Nanosheet)的環繞閘極(GAA)電晶體架構製程,也會是業界首度採用高數值孔徑(High-NA)極紫外光(EUV)微影技術的.

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