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半導體製程技術 - 聯合大學

氯源,再閘極氧化過程抑制移動的離子. ▫ 無水氯化氫,HCl ... 閘極氧化層: 最薄且多大部分是關鍵層. ▫ 電容介電質. 多晶矽. 矽基片 n+. 閘極. 薄氧化層. 源極. 汲極.

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