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使用雷射退火之鍺基底N 型 - CHUR

(ultra-shallow junction)的使用是必須的,而使用低能量的雷射退火製程便可以確保. COMS 結構不因高溫退火(RTA)而損壞。 本實驗採用高效能的閘極先製(gate-first) ...

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