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高介電絕緣層對先進金氧半場效應電晶體元件影響之研究

隨著製程的進步，電晶體微縮後的尺寸越來越小、絕緣層厚度也不斷縮小，使得本身的. 電容增大且閘極控制力降低，於是為了降低電容、漏電流，甚至是短通道效應等等，按照摩.

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