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微機電微波元件之研究子計畫(1)

度,但不增加閘極電阻,並可得到較小的閘極雜散電容值。其應用在磷化銦. 鎵/砷化鎵/砷化銦鎵異質接面通道摻雜場效電晶體的製作上,已獲得了良好. 的成果。

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