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國立成功大學機械工程學系碩士論文具放大機構之單軸壓電驅動 ...

動精密定位平台之軌跡控制，透過閉迴路控制搭配PID 控制以及滑動模態控制來改善 ... 優缺點。在平台負載614g(質量變異百分比731%)之20.32μm 步階響應特性中，.

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