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高速共振式壓電片掃描平台之設計與開發
於鋁製. 懸臂樑根部上下各安裝一壓電陶瓷片,分別提供主動消振補償與振幅量測,完成. 單一輸入和單一回饋訊號的閉迴路系統,以位置控制與速度控制達成減振補償。 圖1. 6 ...
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