基本濺鍍原理. 台灣師範大學機電科技研究所. C R. Yang, NTNU MT. -6-. 薄膜沉積機制. ○ 長晶(Nucleation). ○ 晶粒成長(Grain growth). ○ 晶粒聚結(Coalescence). ○ 縫 ...
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