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碳化矽SiC基板發展現狀淺析

SiC (碳化矽) 產業鏈分為上中下游三個環節：上游包括基板和磊晶晶圓(或稱外延片，Epitaxial Wafer) 的製備；中游包括晶片、器件或模組的設計、製造和封測 ...

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