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5G功率元件用碳化矽基板簡介

... ，因矽與氮化鎵的晶格常數與熱膨脹係數的差異 ... 晶晶種長成單晶塊。 3.液相磊晶法(LPE) : ：把固態的矽粉與碳粉放在石墨 ...

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