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第二十三章半導體製造概論

長晶 是從矽砂中（二氧化矽）提煉成單晶矽，其製造過程是將矽石（Silica）或矽酸鹽 ... 磊晶層的平坦度。 （四）研磨（LAPPING）與蝕刻（ETCHING）. 由於受過機械的切削 ...

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