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金屬有機分子束磊晶系統成長高鋼含量氮化銦鋁薄膜於矽 ...

與多數的氮化物較低之晶格差異,但因生產成本過. 高,無法大量生產,因此較不受到青睞 ... 磊晶成. 長。成長InAIN 磊晶薄膜的三族來源為賽孚思公. 司所生產之有機金屬氣體 ...

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