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1.1.1 氮化鎵材料簡介

然而由於MOCVD 在沉積低溫緩衝層方面已有長時間的研究，屬於較成熟的技. 術，而HVPE 則因高成長速率而在近年受到矚目，是故目前大部分團隊所採用的方. 式，乃將前置磊晶( ...

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