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晶盛8吋碳化矽晶體出爐台廠急起直追 - 工商時報

產業人士分析，碳化矽基板製造關鍵難度在於長晶，高硬度、高脆性、低斷裂韌性的碳化矽晶圓，製造技術門檻高，包括對氣流、高溫製程等控制，其中長晶爐是攸 ...

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