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機械工程學系 - 國立交通大學機構典藏

柴氏長晶法屬於熔融液生長法(Melting Growth)的一種，一般工業. 界使用的長晶爐如圖1-1 所示，其架構可分為控制系統、矽晶爐體、. 加熱器、晶棒/坩鍋拉升旋轉機構與氣體 ...

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