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長晶原理
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碳化矽長晶
原理 :氫氟酸腐蝕二氧化矽。 。 屆時,4-8英寸碳化矽晶片的年。 而目前已在使用的長晶技術則包含高溫化學氣象沉積法(HTCVD),與高溫昇華法(HTCVT)兩 ...
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