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TWI701363B - 矽單晶長晶方法

在柴氏長晶法的單晶生長中，在維持減壓下的惰性氣體（如：氬氣、氮氣、氦氣）環境的腔室內，將晶種浸漬於坩堝內所積存的矽的原料熔湯中，並將所浸漬的晶種緩慢提拉，藉此於 ...

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