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長晶原理
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晶圓代工爭霸戰:半導體知識(前傳) - 寫點科普Kopuchat
一大張的電路設計圖,要縮小並壓印到矽晶圓(基板),靠的就是光學原理。 首先光罩廠會將IC設計圖形第一次縮小,以電子束刻在石英片上,成為光罩。
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