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微致動器與微感測器專題

本文就近年來全球對基於單晶碳化矽所開發之微製造技術加以介紹，其包括長晶、氧化、 ... 計數器及分類感測器已廣泛地應用在生醫研究等相關領域，其操作原理是利用流體 ...

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