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液相法碳化硅晶体生长技术--行业新闻频道 - 化合物半导体

液相法碳化硅长晶基本原理是碳（溶质）被溶解在硅和助溶剂组成的高温液体（溶剂）中，碳（溶质）因过饱和而在碳化硅籽晶处析出，同时因晶格库伦场的 ...

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