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碳化硅晶体的生长原理 - 山东天岳

该方法可以实现SiC晶体尺寸和特定晶型的可控生长。 然而，使用PVT法生长SiC晶体需要在长时间的生长过程中，始终维持适宜的生长条件，否则会导致晶格 ...

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