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水平爐管個別原理

其輸送速度不宜太快，使晶片因溫度變化過大的熱應力，導致破片。 影響薄膜沈積速率的主要因素為溫度、壓力大小及氣體流量。 薄膜沈積機構發生順序：長晶→晶粒成長→晶 ...

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