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SiC晶圓製造究竟難在哪？ - 電子工程專輯

據說，SiC在天然環境下非常罕見，雖然透過人工合成可以製造，但因在長晶的源頭晶種就要求相當高的純度，且後段加工極其困難，SiC功率元件量產化曾一度 ...

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